12月17日消息，據EEnews Europe報道，西班牙政府已獲得歐洲委員會的批準，將向總部位于美國加利福尼亞州舊金山人造金剛石廠商Diamond Foundry的西班牙子公司 Diamond Foundry Europe 提供8100萬歐元的補貼，以支持其斥資8.5億美元在西班牙特魯希略（Trujillo）建造一座金剛石晶圓廠的計劃。

歐盟委員會表示，已批準8100萬歐元（約8500萬美元）的補貼，總投資至少約為6.75億歐元（約 7 億美元）。

2025年開始量產

Diamond Foundry表示，已于2023年上半年動工的Trujillo晶圓廠計劃在 2025年開始生產單晶金剛石芯片，該工廠的總產量將達到1000萬克拉，為傳統鉆石買家和半導體行業(yè)提供服務。

Trujillo 晶圓廠將使用該公司的等離子體反應器技術生產人造金剛石晶片，并將成為世界上首批完全由太陽能供電的工業(yè)項目之一。Diamond Foundry正計劃在晶圓廠周圍的土地上安裝 120MW 太陽能發(fā)電裝置。

資料顯示，金剛石半導體具有超寬禁帶(5.45eV)、高擊穿場強(10MV/cm)、高載流子飽和漂移速度、高熱導率(2000W/m·k)等材料特性，以及優(yōu)異的器件品質因子(Johnson、Keyes、Baliga)，采用金剛石襯底可研制高溫、高頻、大功率、抗輻照電子器件，克服器件的“自熱效應”和“雪崩擊穿”等技術瓶頸。

此外，金剛石擁有優(yōu)異的物理特性，在光學領域具有良好透光性和折射率，適用于光電器件的研發(fā)；電學方面，其絕緣性能和介電常數使其在復雜電路中發(fā)揮穩(wěn)定作用；機械性能方面，高強度和耐磨性確保芯片能夠承受極端工作條件。

Diamond Foundry

Diamond Foundry成立于2012年，業(yè)務涉及珠寶和奢侈品市場以及半導體行業(yè)。Diamond Foundry將使用其擁有專利的CVD（化學氣相沉積）方法進行生產。工廠內的168臺等離子反應器預計于2025年上半年開始首期生產，并于2027年底全面投入運營，預計年產量超過200萬克拉。生產的培育鉆石大部分將用于汽車、5G通信等行業(yè)的應用，小部分用于珠寶行業(yè)。

2022年，Diamond Foundry收購了德國的Audiatec公司，該公司25年來一直致力于合成單晶鉆石的獨特科學挑戰(zhàn)。

2023年10月2日，Diamond Foundry宣布制造出了世界上第一塊單晶金剛石晶圓。這塊金剛石晶圓直徑100毫米，重量110克拉，具備極高的導熱性和電絕緣性。據該公司稱，是使用一種稱為異質外延的工藝來沉積碳原子，并在可擴展的基底上進行制造。Diamond Foundry表示，下一個目標是降低金剛石晶圓的缺陷密度，以實現比硅高17200倍、比碳化硅高60倍的品質因數。

無論是國際巨頭Diamond Foundry還是中國本土企業(yè)，都在積極投身這一領域的發(fā)展，共同推動金剛石晶圓技術的創(chuàng)新與應用。此外，我國政府也已高度重視金剛石等超硬材料產業(yè)的發(fā)展，出臺支持政策。

關于碳方程

近年來，中國金剛石晶圓企業(yè)積極引進國外先進技術，加強自主研發(fā)，不斷提升產品質量和生產效率。其中，碳方程近年來不斷加大研發(fā)資源的投入，全力聚焦于大尺寸金剛石材料相關設備核心技術壁壘的攻克。

目前，金剛石無論是單晶片還是多晶片，都受限于產品尺寸太小。真正商業(yè)化應用需要英寸級大面積晶圓。現在金剛石的異質外延法和馬賽克拼接法都逐步成熟，加以6~8inc的生長設備的輔助，相信我國的英寸級金剛石材料也將得到快速發(fā)展。

而碳方程最新發(fā)布的50200A MPCVD 設備在大尺寸金剛石生產方面取得了重大突破，該設備采用915MHZ的微波頻率，單爐可生產8英寸多晶產品，若用于生產單晶金剛石，單爐能夠穩(wěn)定產出多達 489 片尺寸為 7*7mm 的單晶金剛石。設備運行功率方面，采用50KW大功率裝置，達到大尺寸金剛石的量產條件。

在當前的小批量試生產階段，該設備已成功驗證其卓越性能，所生產的 8 英寸熱沉片在關鍵性能指標上表現卓越，達到了行業(yè)前沿水平，為推動金剛石的大規(guī)模工業(yè)化生產以及拓展大尺寸材料的廣泛應用奠定了堅實基礎，有望在金剛石材料產業(yè)競爭格局中占據重要的一席之地，進一步助力中國在金剛石晶圓領域邁向新的高峰。

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