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以“設(shè)備+工藝”為方針，相互引導(dǎo)，相互依托，以規(guī)模生產(chǎn)為研發(fā)基石
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碳方程50200A MPCVD設(shè)備采用915MHZ的微波頻率及50KW運(yùn)行功率，該設(shè)備單爐可生產(chǎn)8英寸多晶產(chǎn)品，若用于生產(chǎn)單晶金剛石，單爐能夠穩(wěn)定產(chǎn)出多達(dá)489 片尺寸為 7*7mm的單晶金剛石，具有高可靠性、穩(wěn)定運(yùn)行、無(wú)人值守的安全聯(lián)鎖性能，極大地提高了生產(chǎn)效率，此設(shè)備旨在解決大尺寸金剛石的生長(zhǎng)、高沉積速率的難題。
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